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氮化矽熱電偶

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氮化矽熱電偶

詳細介紹

氮化矽陶瓷制品的生産方法有兩種,即反應燒結法和熱壓燒結法。反應燒結法是将矽粉或矽粉與氮化矽粉的混合料按一般陶瓷制品生産方法成型。然後在氮化爐内,在1150~1200℃預氮化,獲得一定強度後,可在機床上進行機械加工,接着在1350~1450℃進一步氮化18~36h,直到全部變為氮化矽為止。這樣制得的産品尺寸精确,體積穩定。熱壓燒結法則是将氮化矽粉與少量添加劑(如MgO、Al2O3、MgF2、AlF3或Fe2O3等),在19.6MPa以上的壓力和1600~1700℃條件下壓熱成型燒結。通常熱壓燒結法制得的産品比反應燒結制得的産品密度高,性能好。附表1中列出了這兩種方法生産的氮化矽陶瓷的性能。

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